金融界2024年11月14日信息，邦度学问产权局讯息显示，联盛半导体科技（无锡）有限公司博得一项名为“一种硅片洗刷筑立”的专利，授权告示号CN 221994420 U，申请日期为2023年12月。

　　专利摘要显示，本适用新型公然了一种硅片洗刷筑立，涉及硅片洗刷装备规模。所述硅片洗刷筑立包罗机架、把握装备、若干硅片洗刷花篮、抓取装备，机架上从左向右次第安设有洗刷室、洗刷花篮架输送机构、洗刷花篮架存取槽，洗刷花篮架存取槽与洗刷花篮架输送机构之间设有烘干槽、超声波洗刷槽；洗刷花篮架存取槽内安排有硅片洗刷花篮；通过将硅片洗刷花篮送入超声波洗刷槽、洗刷室举办洗刷并通过烘干槽举办烘干。本适用新型可正在洗刷室外举办超声波与收拾后，敏捷水准将洗刷花篮送入密闭的洗刷室内，敏捷正在洗刷时室敏捷正在差别洗刷槽内转换，洗刷结束后敏捷举办烘干，削减硅片外面氧化，提升产物德地。

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