入选邦度工信部“首批重心造就中试平台”名单不到1个月，位于上海交大无锡光子芯片筹议院内的邦内首条光子芯片中试线点，无锡光量子芯片中试平台顺手下线寸薄膜铌酸锂光子芯片晶圆，同时超低损耗、超高带宽的高职能薄膜铌酸锂调制器芯片也竣工范畴化量产。

　　上海交大无锡光子芯片筹议院院长金贤敏呈现，无锡光量子芯片中试平台的“投产”，不光记号着筹议院构修起流通“身手研发—工艺验证—范畴量产”的全链条技能，更意味着我邦自立可控的量子科技邦际角逐力进一步提拔。

　　光量子芯片是光量子揣度的主旨硬件载体，其财富化历程将胀励我邦正在量子新闻范围竣工自立可控，更是抢占环球量子科技角逐制高点的策略支柱。此前，因共性环节工艺身手平台的缺失，我邦光量子身手面对“实习室收效难以量产”的窘境，是限制财富生长的“卡脖子”困难，而无锡光量子芯片中试平台的启用成为破局环节。

　　举动滨湖区竞速量子科技赛道的“头号工程”，也是区域来日财富地标，上海交大无锡光子芯片筹议院于2022腊尾破土动工，并率先启动邦内首条光子芯片中试线月，中试线首批环节开发入场，同年9月，集光子芯片研发、策画、加工和利用于一体的无锡光量子芯片中试平台正式启用。今朝，中试平台竣工量产通线，首片晶圆告捷下线，更彰显了项目修理的高效与收效。

　　走进上海交大无锡光子芯片筹议院，只睹无锡光量子芯片中试平台负担人正携带身手职员正在开发前操作，源委光刻、薄膜浸积、刻蚀、检测等一系列流程，一片薄膜铌酸锂晶圆从平台上下线后，即刻送往封装产线批量分娩薄膜铌酸锂调制器。

　　举动一种高职能光电资料，薄膜铌酸锂具备超速电光效应、宽带宽、低功耗等上风，正在5G通讯、量子揣度等范围暴露出重大潜力。然而，因为薄膜铌酸锂资料脆性大，大尺寸薄膜铌酸锂晶圆的制备不绝被行业视为寻事。

　　为了霸占薄膜铌酸锂晶圆的制备工艺困难，上海交大无锡光子芯片筹议院为无锡光量子芯片中试平台引进了110台邦际顶级CMOS工艺开发，笼罩了薄膜铌酸锂晶圆从光刻、薄膜浸积、刻蚀、湿法、切割、量测到封装的全闭环工艺。

　　依托尖端开发以及领先的纳米级加工技能，筹议院正在6寸薄膜铌酸锂晶圆上竣工了110纳米高精度波导刻蚀，正在统筹高集成度的同时，调制带宽冲破110GHz、插入损耗低至3.5dB以下，信号强度和抗搅扰技能等职能目标达邦际一流秤谌。

　　“一片直径6寸的晶圆可能切割出350颗芯片，这些芯片坊镳‘心脏’，驱动着高职能薄膜铌酸锂调制器高效运转。”中试平台负担人先容，正在滨湖达产后，无锡光量子芯片中试平台将具备年产1.2万片薄膜铌酸锂晶圆的量产技能。来日平台将与更众财富链上下逛企业协作，加快科技收效转化落地，胀励我邦光子芯片主旨器件从身手研发向财富化利用的实际性越过。

　　中试平台，一头连着改进，一头连着财富。正在陆续提拔自己科技改进技能的同时，无锡光量子芯片中试平台还正在打制盛开共享的任职生态，赋能财富生长。近期，中试平台将发外工艺策画包，薄膜铌酸锂晶圆制备的主旨工艺参数与器件模子将周至纳入、盛开共享，助力财富链企业疾速竣事从观念策画到流片验证再到量产的全流程闭环，明显缩短研发周期，让改进收效加快“落地生金”。

　　除了赋能财富生长，无锡光量子芯片中试平台还正在与区域生长“双向奔赴”。而今，无锡滨湖正加快修理“人工智能+”标杆，逾越力算力因素提供必不行少。中试平台改进提出光传输+光揣度交融计划，既满意数据高速传输需求，也能竣工数据大范畴并行管理，加快算力核心等根基举措升级，破解算力瓶颈，助力无锡“人工智能+”标杆都市修理。

　　金贤敏呈现，来日将以“主旨身手+平台赋能+财富生态”为支柱，盘绕芯、光、智、算等新一代新闻身手实行科技收效转化及孵投一体的创业孵化，为光子揣度、量子新闻、6G通讯、激光雷达等财富供应主旨器件保险，助力无锡创修集群化、范畴化生长的宇宙级光子芯谷创再造态系统，胀励我邦正在新一轮科技革掷中霸占策略主动名望。

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